エッジグラインダー
NMPG-450
丸も、角も、難材も。面取りを極めた一台。
製品の特長
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スマホからPC、車載、Φ300ウェーハーまで幅広い基板に対応可能なハイエンドマシン
ツールスピンドル3式装備:外周用1本/Φ90mm、8,000min-1、穴・凹み加工用2本/Φ5mm、50,000min-1装備 高生産性を実現。複雑形状に最適 ワークサイズ:Φ50~320、□50~320、厚み10㎜まで対応可能※1 独立駆動の2加工ステージ 曲面形状基板にも対応 小径用スピンドルには5ステーションATC搭載(op.)※2 砥石の長寿命化・簡単管理 ※1. 一部条件がございます、詳しくはお問い合わせ下さい。 ※2. ATC仕様時はツールスピンドル回転数は50,000min-1
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カメラによる高精度な位置決めが可能
様々な形状のワークを高精度にセンタリング。取り代を削減し、加工時間の短縮と砥石の長寿命化を実現します。 3種類の砥石によるワンチャック複合加工を実現。工程集約により、プロセス管理を簡素化します。 エッジ部の強度を上げ、欠けや割れの抑制を実現します。
加工事例
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SiCウェハの加工事例
SiCおよび石英フォトマスクなどの難削材を高速、高精度で加工可能
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石英フォトマスクの加工事例
関連動画
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ガラス基板もウエハも高精度加工!半導体・光学事業部の強みとは?
製品の仕様
| NMPG-450 | |
|---|---|
| 最大基板サイズ | φ300、□320㎜ |
| 最少基板サイズ | φ50、□50㎜ |
| 最大基板厚み | 10㎜ |
| ワーク保持 | ワーク軸吸着 |
| 砥石軸の数 穴・凹み加工用砥石軸 | A・Bステージ各2 |
| 砥石軸の数 外周加工用砥石軸 | A・Bステージ各1 |
| 穴・凹み加工用砥石軸 回転速度 | 50,000min-1 |
| 穴・凹み加工用砥石 最大径 | Φ5mm |
| 外周加工用砥石軸 回転速度 | 8,000min-1 |
| 外周加工用砥石 最大径 | Φ90mm |
| 最大砥石厚さ | 20mm |
※詳しいワークサイズにつきましては、お問い合わせ下さい。
リーフレットダウンロード
製品の概要を記載したリーフレットをダウンロードできます。
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