エッジグラインダー

NMPG-450

丸も、角も、難材も。面取りを極めた一台。

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製品の特長

  • スマホからPC、車載、Φ300ウェーハーまで幅広い基板に対応可能なハイエンドマシン

    ツールスピンドル3式装備:外周用1本/Φ90mm、8,000min-1、穴・凹み加工用2本/Φ5mm、50,000min-1装備 高生産性を実現。複雑形状に最適 ワークサイズ:Φ50~320、□50~320、厚み10㎜まで対応可能※1 独立駆動の2加工ステージ 曲面形状基板にも対応 小径用スピンドルには5ステーションATC搭載(op.)※2 砥石の長寿命化・簡単管理 ※1. 一部条件がございます、詳しくはお問い合わせ下さい。 ※2. ATC仕様時はツールスピンドル回転数は50,000min-1

  • カメラによる高精度な位置決めが可能

    様々な形状のワークを高精度にセンタリング。取り代を削減し、加工時間の短縮と砥石の長寿命化を実現します。 3種類の砥石によるワンチャック複合加工を実現。工程集約により、プロセス管理を簡素化します。 エッジ部の強度を上げ、欠けや割れの抑制を実現します。

加工事例

  • SiCウェハの加工事例

    SiCおよび石英フォトマスクなどの難削材を高速、高精度で加工可能

  • 石英フォトマスクの加工事例

関連動画

  • ガラス基板もウエハも高精度加工!半導体・光学事業部の強みとは?

製品の仕様

NMPG-450
最大基板サイズ φ300、□320㎜
最少基板サイズ φ50、□50㎜
最大基板厚み 10㎜
ワーク保持 ワーク軸吸着
砥石軸の数 穴・凹み加工用砥石軸 A・Bステージ各2
砥石軸の数 外周加工用砥石軸 A・Bステージ各1
穴・凹み加工用砥石軸 回転速度 50,000min-1
穴・凹み加工用砥石 最大径 Φ5mm
外周加工用砥石軸 回転速度 8,000min-1
外周加工用砥石 最大径 Φ90mm
最大砥石厚さ 20mm

※詳しいワークサイズにつきましては、お問い合わせ下さい。

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